스퍼터와 같은 시스템을 사용하다보면, 진공게이지가 달려있고, 공정 할 때는 또 다른 진공게이지 하나가 더 달려있는 경우가 있습니다. 보통 스로틀 밸브와 연동되어 동작하는 게이지인데, 바라트론 게이지라고 많이 부릅니다. 자주 듣는 질문중에 하나가 이 값이 일반 진공게이지와 다르게 나온다는 것인데요. 값이 다른 가장 큰 이유는 일반게이지는 가스에 영향을 받는 다는 것입니다. 반면에 바라트론 게이지는 가스의 종류에 상관없이 절대 진공을 확인 가능한 게이지입니다. 물론 측정하는 방식이 다르지요. 보통 이종 기계의 값을 똑같이 맞추는 짓은 안하는 것이 좋습니다. 같은 온도계라도 제조사별로 온도가 다른 경우가
허다합니다. 바라트론 게이지는 보통 Capacitance Manometer게이지를 말하는데, 제조사가 워낙 유명해서 바라트론이라고 통칭해서 부르는 것이 아닌가 생각됩니다. 바라트론 게이지는 다이아프램 방식의 게이지입니다. 구조는 뭐 아래와 같습니다.
::: TetraTech Ȩ������ :::
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Baratron gauge�� ���� �� zero calibration �ϴ� ���!!!!